PAGE TOP

購入カートを見る
  キーワード 

  機器名 
 メーカー名 
 仕様  
 型式  

商品情報



画像1  カート
商品NO 1825 商品名 ガス混合器CUBEGMシリーズ メーカー エフコン(株) 管理 エフコン(株)
型式 CUBEGM3 価格 商品問合せ
特徴 【3ガス混合】
●ガス混合器[CUBEGMシリーズ]は、マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワンしたユニットタイプ。
●必要最小限の構成により、低価格を実現。
●IN側とOUT側に配管を接続するだけで2~4種類のガスを任意の流量に設定・制御して、混合ガスを供給する装置です。
●アナログマスフローコントローラーを標準搭載。
●流量制御範囲は、N2換算で10SCCMから50SLMのマスフローコントローラーが標準搭載可能です。その他の場合は、お問い合わせ下さい。
●ご希望の混合比率に調整されたガスボンベを購入するよりも、それぞれのガスをガス混
カタログ
仕様 サイズ:W415×D298×H250(mm) ※突起部を含まず
入力電源:AC100V
消費電流:MAX 1A ※マスフローコントローラー4台搭載の場合
流量制御範囲: 1ライン:F.S.10SCCM~20SLM ※但し混合ガス流量が50SLM以下のこと
流量制御:MFC:C1000シリーズ又はFCST1000シリーズ
流量設定/出力表示:0~5VDC
INLET、OUTLETバルブ:ボールバルブ
外部リーク:≦5×10-7Pa・m3/sec He
耐圧:1MPa
接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム(FCST1000シリーズの場合:磁性ステンレス、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)
配管接続:1/4in.SWL(相当品)、その他の継手はご相談下さい。
使用環境:温度:5~50℃ 精度保証範囲:15~35℃ 湿度30~80%(結露なきこと)
付属品:ACケーブル、取扱説明書
備考 価格:900,000円~ 管理NO

外観写真

製品の特徴

外形寸法