仕様 |
サイズ:W415×D298×H250(mm) ※突起部を含まず
入力電源:AC100V
消費電流:MAX 1A ※マスフローコントローラー4台搭載の場合
流量制御範囲: 1ライン:F.S.10SCCM~20SLM ※但し混合ガス流量が50SLM以下のこと
流量制御:MFC:C1000シリーズ又はFCST1000シリーズ
流量設定/出力表示:0~5VDC
INLET、OUTLETバルブ:ボールバルブ
外部リーク:≦5×10-7Pa・m3/sec He
耐圧:1MPa
接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム(FCST1000シリーズの場合:磁性ステンレス、フッ素ゴム又はクロロプレンゴム)
配管接続:1/4in.SWL(相当品)、その他の継手はご相談下さい。
使用環境:温度:5~50℃ 精度保証範囲:15~35℃ 湿度30~80%(結露なきこと)
付属品:ACケーブル、取扱説明書 |